Contaminants

雜質

Specifications (ppmv)

規格

Ar

Argon 氬氣

<0.05

Total Chlorosilane

Total Chlorosilane 總氯硅烷

<0.15

Disilane

Disilane 乙硅烷

<0.5

He

Helium 氦氣

<1

O₂

Oxygen 氧氣

<0.05

N₂

Nitrogen 氮氣

<1

H₂

Hydrogen 氫氣

<20

CO

Carbon Monoxide 一氧化碳

<0.05

CO₂

Carbon Dioxide 二氧化碳

<0.05

CH₄

Methane 甲烷

<0.05

Carbon

Carbon 碳

<0.2 ppma

Disiloxane

Disiloxane 二硅氧烷

<0.5

Methylsilane

Methylsilane 甲基硅烷

<0.5

Al

Aluminium 鋁

<0.005 ppba

Sb

Antimony 銻

<0.005 ppba

As

Arsenic 砷

<0.005 ppba

B

Boron 硼

<0.02 ppba

Ca

Calcium 鈣

<10 ppba

Ga

Gallium 鎵

<0.005 ppba

In

Indium 銦

<0.005 ppba

P

Phosphorus 磷

<0.02 ppba

K

Potassium 鉀

<10 ppba

Na

Sodium 鈉

<5 ppba

Cr+Cu+Fe+Ni+Zn

鉻+銅+鐵+鎳+鋅

<1 ppba

H₂O

Moisture 水

<0.5

Resistivity

Resistivity 電阻系數

>10000 ohm-cm

Cylinder Type氣瓶規格

47ℓ,  Ton-cylinder,  20ft ISO-Container,  40ft ISO-Container

Fill Weight充裝量 (kg)

10,    100 ,          2000 ,               4000

Valve Connection 閥門(CGA)

JIS 22L,  CGA 632,  CGA350