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Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3)




Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3)

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Total Purity 純度:>99.95%

Vapor Phase Impurities

氣相雜質

Contaminants

雜質

 

Specifications

規格

Fe

<5 ppb

Cr

<2 ppb

Mn

<0.2 ppb

Ni

<1 ppb

Al

<1 ppb

Mo

<1 ppb

Cu

<0.05 ppb

Co

<0.02 ppb

B

<0.06 ppb

P

<0.01 ppb

O

<1 ppm

Resistivity

Resistivity 電阻系數

>800 ohm-cm

 

Standard Package Information

包裝規格

Cylinder Type氣瓶規格

CMC

Fill Weight充裝量 (kg)

CMC

Valve Connection 閥門(CGA)

CMC




Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3) 2011-10-20 本文被閱讀 6313 次
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