Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3)
Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3)
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Total Purity 純度：>99.95%
Vapor Phase Impurities
氣相雜質
Contaminants 雜質 | Specifications 規格 | |
Fe | 鐵 | <5 ppb |
Cr | 鉻 | <2 ppb |
Mn | 錳 | <0.2 ppb |
Ni | 鎳 | <1 ppb |
Al | 鋁 | <1 ppb |
Mo | 鉬 | <1 ppb |
Cu | 銅 | <0.05 ppb |
Co | 鈷 | <0.02 ppb |
B | 硼 | <0.06 ppb |
P | 磷 | <0.01 ppb |
O | 氧 | <1 ppm |
Resistivity | Resistivity 電阻系數 | >800 ohm-cm |
Standard Package Information
包裝規格
Cylinder Type氣瓶規格 | CMC |
Fill Weight充裝量 (kg) | CMC |
Valve Connection 閥門(CGA) | CMC |
Trichlorosilane 三氯氫硅 (SiHCl3) 2011-10-20 本文被閱讀 6313 次